Сенсори механічних величин

Основу тонкоплівкових емнісних сенсорів тиску складае поліімідна плівка, яка мае високу механічну міцність та постійні характеристики в широкому температурному діапазоні. Як правило, використовуеться плівка типу ПМ- 1Э або йаналоги товщиною 10- 20 мкм. В сенсорах такого типу чутливий елемент 1 (рис. 2.27), виготовлений з поліімідноТ плівки, знаходиться між основою 2 та гнучкою мембраною