Автор: Пользователь скрыл имя, 26 Декабря 2010 в 23:03, доклад
Для легирования поверхности полупроводниковых пластин при изготовлении ИМС используют диффузию и ионное леги-рование. Диффузия является наиболее широко распространен¬ным методом легирования.