Методы измерения механических свойств тонких пленок

Тонкие металлические пленки широко используются в производстве интегральных схем, магнитных, оптических устройств, микросенсоров и т.п. Несмотря на то, что в большинстве применений на первый план выступают электрические свойства тонкопленочных материалов, их механические характеристики также играют значительную роль, поскольку в процессе нанесения и эксплуатации в пленках могут развиваться сильные внутренние напряжения, релаксация которых может приводить к их деформации и разрушению.

Введение 3
1. Современные методы и средства обеспечения единства измерений физико-механических и трибологических свойств тонких пленок 4
1.1. Измерительное индентирование 5
1.2. Избирательное идентирование 10
2. Оценка механических свойств многофазных и композиционных материалов. Механическая спектроскопия. 10
2.1. Измерительное царапание 11
3. Измерения при поверхностном скольжении и изнашивании (трибологические испытания). 14
Заключение 19
Список литературы