Автор: Пользователь скрыл имя, 20 Января 2012 в 12:44, реферат
Метод термического окисления кремния позволяет получать маскирующие пленки, равномерные по толщине и структуре, позволяющие проводить локальную диффузию или ионную имплантацию. Термическое окисление кремния проводят в парах воды, в сухом и во влажном кислороде.