Анизотропное травление
Реферат, 20 Января 2012, автор: пользователь скрыл имя
Краткое описание
Метод термического окисления кремния позволяет получать маскирующие пленки, равномерные по толщине и структуре, позволяющие проводить локальную диффузию или ионную имплантацию. Термическое окисление кремния проводят в парах воды, в сухом и во влажном кислороде.